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Durchlichtprüfung diffraktiver zylindrischer Nullelemente |
J. Lamprecht, N. Lindlein, J. Schwider
Lehrstuhl für Optik, Universität Erlangen-N�rnberg
lamprecht@optik.uni-erlangen.de |
Die zunehmend steigenden Anforderungen an die Qualität hochaperturiger zylindrischer Mikrooptiken (N.A. ~0,8) machen Messverfahren mit interferometrischer Genauigkeit unumgänglich. Wie bereits gezeigt werden konnte, stellt die Mach-Zehnder-Durchlichtprüfung unter Verwendung angepasster diffraktiver Nullelemente ein geeignetes Verfahren dar. Ein zentrales Thema ist dabei die Bereitstellung einer möglichst idealen Referenzwelle unter Berücksichtigung rigoroser Beugungstheorie beim Design der Linse. Der Beitrag stellt diesbezüglich eine Prüfmethode zur umfassenden Charakterisierung der verwendeten Nulloptik im Hinblick auf mögliche Design- und Herstellungsfehler vor und diskutiert Verfahren und Aspekte zur Optimierung der erzeugten Wellenfront. |
Keywords:
Mikrooptik, Diffraktive Optik, Interferometrie |
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