| |
Refraktive Strahlformungsoptik mittels direktschreibender Grautonlithographie |
D. Leroch1, I. Harder2, N. Lindlein1
1Institut für Optik, Information und Photonik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen;2Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts, Erlangen
dominik.leroch@physik.uni-erlangen.de |
Strahlhomogenisierung und Strahlformung sind für viele aktuelle Anwendungen in den Bereichen der Lasermaterialbearbeitung, Fotolithographie, Messtechnik und Analytik wichtig.
Im Rahmen der hier vorgestellten Arbeit wurde ein abbildender Homogenisator basierend auf zwei identischen Mikrolinsenarrays in einem Messaufbau zur Homogenisierung einer LED realisiert. Die hierfür benötigten Mikrolinsenarrays wurden mittels direkt schreibender Grautonlithographie in dickem Photolack hergestellt. Die direkt schreibende Lithographie ermöglicht hierbei eine große Flexibilität in der Linsenform, so dass beispielsweise auch Mikrolinsen mit quadratischer Apertur geschrieben werden können.
Um im Weiteren zusätzlich zur Homogenisierung die Strahlformungsaufgabe zu erfüllen, werden refraktive Freiformflächen verwendet. Diese werden mittels der institutseigenen Software RAYTRACE berechnet und ebenfalls mittels Grautonlithographie hergestellt.
Durch die Verwendung dieser Freiformflächen wird aus einer beliebigen Eingangsverteilung die gewünschte Ausgangsverteilung generiert. |
Keywords:
Mikrooptik |
|
|
|
