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Kalibrierung eines Interferometers in streifender Inzidenz |
K. Mantel, J. Lamprecht, N. Lindlein, J. Schwider
Institut für Optik, Information und Photonik, FAU Erlangen
Klaus.Mantel@optik.uni-erlangen.de |
Interferometrie in streifender Inzidenz ist ein wertvolles Hilfsmittel für die optische Metrologie. Die Oberflächenqualität stabförmiger Objekte (wie etwa Zylinderlinsen) sowie die Lage und Orientierung der Einzelflächen zueinander können in einem Messschritt erfasst werden. Die Messgenauigkeit wird dabei durch systematische Wellenaberrationen begrenzt, die insbesondere durch eine Inversion der Objektwelle am Prüfling verursacht werden. Es ist deshalb notwendig, geeignete Kalibrierverfahren für die streifende Inzidenz zu entwickeln.
Für zylindrische Prüflinge wurde ein 4-Stellungstest untersucht, analog dem bekannten 3-Stellungstest der Sphärenprüfung. Der Beitrag geht auf verschiedene Umsetzungen des Mehrstellungstests ein, diskutiert die verwendeten Auswertealgorithmen und zeigt Ergebnisse von Messungen an Innenzylindern. |
Keywords:
Interferometrie, Messtechnik |
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