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Test von Asphären im NIR mit einem diffraktiven optischen Element als Nulllinse |
F. Simon, N. Lindlein, J. Schwider
Lehrstuhl für Optik, Universität Erlangen-Nürnberg
fsimon@optik.uni-erlangen.de |
Durch Erhöhung der Wellenlänge wird bei einem diffraktiven optischen Element (DOE) der maximale Beugungswinkel vergrößert und man kann auch für hochaperturige Asphären beim interferometrischen Test auf eine sphärische Kompensation verzichten. Die asphärische Welle wird durch das DOE direkt aus einer ebenen Welle erzeugt. Dadurch kann man nicht nur störende Beugungsordnungen filtern, auch die schwierige Justage des DOE's zum Sphärenkondensor entfällt.
Es wird ein Twyman Green Interferometer vorgestellt, mit dem es möglich ist Asphären unter Verwendung von sogenannten Kombo-DOE's auch absolut zu messen. Die für die Cat's Eye Position nötige sphärische Welle wird dabei zusätzlich zur asphärischen Welle auch vom DOE erzeugt.
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Keywords:
Optik bei unkonventionellen Wellenlängen, Diffraktive Optik, Messtechnik |
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