Chromatische Punktsensoren in der Kontur- und OberflÀchenmesstechnik

M. Bretschneider, D. PĂŒschmann, T. Fahlbusch, E. Reithmeier
Institut fĂŒr Mess- und Regelungstechnik, Leibniz UniversitĂ€t Hannover
martin.bretschneider@imr.uni-hannover.de
 
Hochauflösende chromatische Punktsensoren eigenen sich fĂŒr das Messen kleiner Strukturen. Ihr Messprinzip basiert auf der chromatischen Abberation und erlaubt eine hohe, vertikale Auflösung bis in den Nanometerbereich. In diesem Beitrag werden zwei Messaufgaben fĂŒr chromatische Punktsensoren aufgezeigt:
Ein Einsatzbereich ist das Messen von mehreren lateral versetzten Mikrostrukturen mit Abmaßen von wenigen Mikrometern bis in den Millimeterbereich. Hier ist ein großer lateraler Messbereich gefordert. Deshalb wird zum Messen der Strukturinformation ein chromatischer Punktsensor in eine Multisensorikmessmaschine integriert. Die Achsen dieser Maschine positionieren das Bauteil hochgenau unter dem Sensor. Aus den zusammengesetzten flĂ€chenhaften Messdaten werden die Mikrostrukturen mit aus der Bildverarbeitung entliehenen Algorithmen extrahiert.
StĂ¶ĂŸt ein chromatischer Punktsensor an die Grenzen seines Messbereichs, kann dieser durch die Kombination mit anderen Messtechniken und den Einsatz spezieller Signalverarbeitung vergrĂ¶ĂŸert werden. Dieses Vorgehen wird am Beispiel eines rotationssysmetrischen Körpers demonstriert, dessen Kontur so hochaufgelöst erfasst wird.
Keywords:
Nanotechnologie, OberflÀchen, 3D-Messtechnik
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109. Tagung, Poster: P19