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Hochgenaue Vermessung asphärischer Linsen in der Fertigungsmaschine |
J. Petter, R. Nicolaus, T. May, A. Noack, T. Tschudi
Luphos GmbH
petter@luphos.de |
Asphärische Linsen finden vermehrt Einsatz in allen Bereichen der Optik. Deren Herstellung ist immer noch ein aufwändiger und teurer Prozess. Insbesondere die Kontrolle der asphärischen Form ist nach wie vor eine Herausforderung an die klassische Messtechnik, die meist extern und taktil oder mit individuell gefertigten, teuren Hologrammen durchgeführt werden muss.
Die vollständig faserbasierte Messtechnik auf Grundlage der Mehrwellenlängeninterferometrie (MWLI) erlaubt die Realisierung einer Vermessung der Linsen bereits während des Herstellungsprozesses bereits in der Schleif- und Poliermaschine selbst. Hierbei kann mit einer Genauigkeit von bis zu 10 nm gemessen werden. Außerdem ist eine Charakterisierung der Linsenparameter (z.B. Linsenmittendicke) möglich. Dies ermöglicht eine erhebliche Beschleunigung und Kostenreduktion bei der Linsenherstellung. Vorgestellt werden unterschiedliche Ansätze bzw. Realisierungen des maschineninternen Messprozesses, sowie die Integration in Ultrapräzisionsdrehmaschinen zur Herstellung von Metallobjekten und Spiegeln.
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Keywords:
Interferometrie, Messtechnik, 3D-Messtechnik |
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