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Vermessung konvexer, rauer Asphären mittels Interferometrie in streifender Inzidenz |
S. Rothau1, J. Schwider1, K. Mantel2, N. Lindlein1
1 Institut für Optik, Information und Photonik, Friedrich-Alexander Universität Erlangen-Nürnberg
2 Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts, Erlangen
sergej.rothau@fau.de |
Asphärische Linsen spielen für das Design hochwertiger Optiken eine wichtige Rolle. Bereits einige wenige asphärische Flächen können mehrere sphärische Linsen eines optischen Systems ersetzen, was zu einer Reduzierung in Gewicht und Größe des Systems führt. Einhergehend mit diesen Vorteilen ist die Qualitätsprüfung der Linsen unabdinglich. Zu den gewünschten Genauigkeiten führen dabei nur interferometrische Messtechniken.
In diesem Beitrag wird die Grundidee eines neues interferometrischen Testverfahrens in streifender Inzidenz für konvexe Asphären vorgestellt. Aufgrund des streifenden Einfalls der Testwelle und der damit verbundenen hohen effektiven Wellenlänge, können damit technisch raue Oberflächen mit hoher numerischer Apertur in sichtbarem Licht geprüft werden. Dies würde eine Vermessung der Formabweichungen der Linsen zwischen den Schleifvorgängen, also noch vor dem Polieren, möglich machen.
Neben den Vor- und Nachteile des Messverfahrens, wird das erste realisierte Messsetup für sphärische Objekte zusammen mit den ersten Simulationen und Messergebnissen vorgestellt und diskutiert. |
Keywords:
Interferometrie, Messtechnik, Asphären |
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