Konzept f├╝r eine hochgenaue und r├╝ckgef├╝hrte optische Formmessung an gro├čen Optiken bis 1,5 Meter

J. Spichtinger1, G. Ehret1, M. Schulz1, M. Stavridis2, C. Elster2
1 Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig; 2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin
jan.spichtinger@ptb.de
 
In Wissenschaft und Technik werden vermehrt gro├če optische Fl├Ąchen eingesetzt, z. B. f├╝r astronomische Teleskopspiegel und in der Optik- und Automobilindustrie. Dabei werden auch zunehmend Asph├Ąren und Freiformfl├Ąchen verwendet. Dies schafft einen Bedarf an einer hochgenauen und r├╝ckgef├╝hrten Formmessung von gro├čen Optiken.
Wir entwickeln ein Konzept f├╝r die optische Formmessung an Fl├Ąchen bis zu einer Gr├Â├če von 1,5 m und mit Kr├╝mmungsradien gr├Â├čer 10 m. Interferometrische, deflektometrische und Wellenfront-basierte Messk├Âpfe werden auf ihre Eignung untersucht. W├Ąhrend der Messung wird der jeweilige Messkopf verfahren und f├╝r st├Ąrker gekr├╝mmte Pr├╝flinge mit einer kardanischen Aufh├Ąngung bez├╝glich der Fl├Ąchennormalen nachgef├╝hrt. Bei Stitching-Verfahren werden Messfehler mithilfe der Traceable Multiple Sensor-Methode [1] reduziert. Schnitte werden zu einer 3D-Topographie zusammengef├╝hrt. Zur Fehleranalyse wird ein virtuelles Instrument implementiert. Wir erl├Ąutern die Messprinzipien und zeigen erste Simulationsergebnisse.
[1] A. Wiegmann, M. Schulz und C. Elster: Absolute Profilmessung optischer Oberfl├Ąchen mit Mehrfachsensorsystemen. Tm - Technisches Messen, 78(4), 184-189, 2011.
Keywords:
Oberfl├Ąchen, Interferometrie, Messtechnik
kompletter Artikel   120_p1.pdf download Paper
120. Tagung, Poster: P1