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Chromatische Punktsensoren in der Kontur- und Oberflächenmesstechnik |
M. Bretschneider, D. Püschmann, T. Fahlbusch, E. Reithmeier
Institut für Mess- und Regelungstechnik, Leibniz Universität Hannover
martin.bretschneider@imr.uni-hannover.de |
Hochauflösende chromatische Punktsensoren eigenen sich für das Messen kleiner Strukturen. Ihr Messprinzip basiert auf der chromatischen Abberation und erlaubt eine hohe, vertikale Auflösung bis in den Nanometerbereich. In diesem Beitrag werden zwei Messaufgaben für chromatische Punktsensoren aufgezeigt:
Ein Einsatzbereich ist das Messen von mehreren lateral versetzten Mikrostrukturen mit Abmaßen von wenigen Mikrometern bis in den Millimeterbereich. Hier ist ein großer lateraler Messbereich gefordert. Deshalb wird zum Messen der Strukturinformation ein chromatischer Punktsensor in eine Multisensorikmessmaschine integriert. Die Achsen dieser Maschine positionieren das Bauteil hochgenau unter dem Sensor. Aus den zusammengesetzten flächenhaften Messdaten werden die Mikrostrukturen mit aus der Bildverarbeitung entliehenen Algorithmen extrahiert.
Stößt ein chromatischer Punktsensor an die Grenzen seines Messbereichs, kann dieser durch die Kombination mit anderen Messtechniken und den Einsatz spezieller Signalverarbeitung vergrößert werden. Dieses Vorgehen wird am Beispiel eines rotationssysmetrischen Körpers demonstriert, dessen Kontur so hochaufgelöst erfasst wird.
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Keywords:
Nanotechnologie, Oberflächen, 3D-Messtechnik |
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